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激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。

目元激光混合气体的佳方案组成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到大的输出功率，并且大切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。中性原子激光中，常见的是氦氖激光。它的红光尤其为我们所熟悉。它的光色显著，所以常用作非可见光激光中的指引光束(Guiding beam)。其优越的同调性及方便的操作条件(只须气冷、110V的电压、价格相对地)，使它广用于扫描读码设备及全像等。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。

目元激光混合气体的方案组成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到的输出功率，并且切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。

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